跳到主要內容區

中心首頁简体中文English玻璃聯盟材料系網站地圖聯合大學

中心logo

Top

聯絡我們

陳思穎
Tel: 037-382221
Fax:037-382222
Email :evaparis8411@nuu.edu.tw
           glassfiber@nuu.edu.tw

服務時間

週一至五/ 9:00 ~ 12:30

     13:30 ~ 17:00

玻璃性質分析實驗室(二)

1

 

射頻濺鍍機 (RF sputter)

鍍膜的應用相當廣泛,在許多半導體製程、光學玻璃方面等等都使用到濺鍍製程。射頻濺鍍機是利用物理方法的鍍薄膜儀器。其內部運作基本配置於一真空腔體,具有濺鍍激發槍產生電漿。鍍膜原理是在真空腔體中產生高能電漿,利用電漿衝撞靶材(欲鍍物:是金屬、金屬氧化物,或無機非金屬物),將靶材原子撞擊出表面,使靶材原子附著沉積在基板上。在靶材與基板之間導入電極,靶材為陰極,基板為陽極,而電漿中的離子帶正電(一般使用氬氣使其激發為帶正電電漿),這些正電離子會往陰極移動,撞擊表面,而被撞出的靶材原子中帶負電的原子往陽極基板移動,最後沉積在表層。

薄膜製成可控制腔體中的氣體流量,通入其他氣體,基板加熱溫度來改變其製程因素。使用濺鍍方法的薄膜相較其他物理沉積薄膜製成(如蒸鍍等等..)具有較快速的鍍率、可精確控制製程的參數,其成分控制較佳,能選用的鍍附材料較廣。而相較於一般化學沉積方法(CVD),使用濺鍍的薄膜膜厚較均勻緻密。

2

玻璃軟化黏度測試儀

藉由在玻璃棒中間加載一定負荷重量,測試試樣對所加力矩的抵抗能力,由精密負荷傳感器顯示出試樣的黏度值。黏度和溫度之間有密切的關係,溫度越高,所得的黏度會越低,本設備可測試在較低溫下的黏度。

 3

 

耐候試驗機

耐候試驗機是可以控制測試區內部的溫濕度環境以及雨淋動作,模擬不同的照射環境下對材料的傷害以及老化情形。

 

瀏覽數: