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周一至五/ 9:00 ~ 12:00

     13:00 ~ 16:00

玻璃性质分析实验室(二)

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射频溅镀机 (RF sputter)

镀膜的应用相当广泛,在许多半导体制程、光学玻璃方面等等都使用到溅镀制程。射频溅镀机是利用物理方法的镀薄膜仪器。其内部运作基本配置于一真空腔体,具有溅镀激发枪产生电浆。镀膜原理是在真空腔体中产生高能电浆,利用电浆冲撞靶材(欲镀物:是金属、金属氧化物,或无机非金属物),将靶材原子撞击出表面,使靶材原子附着沉积在基板上。在靶材与基板之间导入电极,靶材为阴极,基板为阳极,而电浆中的离子带正电(一般使用氩气使其激发为带正电电浆),这些正电离子会往阴极移动,撞击表面,而被撞出的靶材原子中带负电的原子往阳极基板移动,最后沉积在表层。

薄膜制成可控制腔体中的气体流量,通入其他气体,基板加热温度来改变其制程因素。使用溅镀方法的薄膜相较其他物理沉积薄膜制成(如蒸镀等等..)具有较快速的镀率、可精确控制制程的参数,其成分控制较佳,能选用的镀附材料较广。而相较于一般化学沉积方法(CVD),使用溅镀的薄膜膜厚较均匀致密。

2

玻璃软化黏度测试仪

藉由在玻璃棒中间加载一定负荷重量,测试试样对所加力矩的抵抗能力,由精密负荷传感器显示出试样的黏度值。黏度和温度之间有密切的关系,温度越高,所得的黏度会越低,本设备可测试在较低温下的黏度。

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耐候试验机

耐候试验机是透过氙弧灯当作光源,以及调整照射强度雨更换滤光水套,并且可以控制测试区内部的温湿度环境以及雨淋动作,模拟不同的照射环境下对材料的伤害以及老化情形。

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